1.压阻式压力传感器
传感器硅膜片两边有两个压力腔。一个是和被测压力相连接的高压腔，另一个是低压腔，通常和大气相通。
当压力P均匀作用在圆形硅膜片上时，膜片产生应力和应变，扩散在膜片上的电阻由于压阻效应产生相应的电阻变化，电桥失去平衡，其输出的电压与膜片两边的压力差成正比。
2.压阻式加速度传感器
压阻式加速度传感器结构如图2-15所示。以硅悬臂梁作为敏感元件，在其根部上下表面扩散制作4个应变电阻，在其自由端装惯性质量块。当壳体作加速运动时，质量块产生惯性力从而使硅梁变形产生应力。这时硅梁上4个电阻条的阻值发生变化，使电桥产生不平衡，从而输出与外界的加速度成正比的电压值。
压阻式加速度传感器不适用于频率较高的振动和冲击场合，一般适用频率为10-60 Hz范围。