Modell提出了超临界水氧化技术的工艺流程:含饱和溶解氧的水和待处理有机废水和氧气(或空气)分别用高压泵打入预热器中, 预热后进入SCWO 反应器, 通过氧化反应, 废液中有机物被氧化分解。反应后的产物经减压阀, 进入气液分离器, 处理后的水、气分别排放, 或收集后进行分析检测。除了上述连续流动的反应装置外, Lee ,Helling, Thornton等还分别设计了分批处理的实验装置。我国在SCWO 技术方面的研究较晚,该领域的研究工作报道较少。在SCWO 的机理研究方面李统锦、Brill研究了二氨基乙二肟在超临界水中的降解, 发现可以完全生成NH3 和CO2 , 并认为在降解过程中既有热解作用又有水解作用, 并阐述了水解的机理。向波涛等 研究了超临界氧化法对含硫废水的处理,发现SCWO 可废水中的硫离子高效去除。增加反应时间、压力、氧硫比, 可显著提高硫的去除率。较低温度下, 温度升高对硫的去除率影响不明显, 较高温度下,继续升高温度可显著提高硫的去除率。王涛研究了去除废水中有机氮的工艺和反应动力学, 结果表明SCWO 可将废水所含凯氏氮去除, 增加温度、压力和时间可以明显增加凯氏氮的去除率。尿素水溶液的SCWO 反应是以凯氏含量为浓度项的一级反应,温度和压力对反应速率常数都有影响。